学生がIMID2024でBest Poster Awardを受賞

8月20〜23日に韓国・済州島で開催された国際会議「The 24th International Meeting on Information Display(IMID2024)」において、安藤 基貴さん(修士課程 理工学コース1年・岡山県立高梁高等学校出身)がBest Poster Awardを受賞しました。



安藤さんが発表したテーマは「Self-aligned top-gate In-Ga-Zn-O thin-film transistors (IGZO TFTs) with hydrogen-free SiO₂ gate insulator and boron implanted source and drain regions(水素フリーSiO₂ゲート絶縁膜とボロン注入されたソース/ドレイン領域を持つセルフアライントップゲートIn-Ga-Zn-O薄膜トランジスタ (IGZO TFT))」です。

安藤さんは、所属する先端材料・素子科学研究室(指導教員:古田 守教授)で初めて無機絶縁膜を用いたSA-TG TFT(セルフアライントップゲート薄膜トランジスタ)の作製に成功しました。ゲート絶縁膜に水素レスのSiO2を用いることで、電圧および温度ストレスを印加した状態で行う信頼性試験において良好な信頼性特性を得ることができ、TFT高信頼性化に向けた新たな手法を示しました。また、特性のばらつきが少なく、均一性が高いことも確認しました。



安藤さんは「世界各国の多くの人の研究を知ることができて、様々な視点からTFTを評価していることを聞いて、今後の研究に活かせることができました。良い経験ができました。留学先のドイツでは、TFTを作るためのフォトマスクを製作し、KUTにて実際に応用してSA-TG TFTの評価をしたいです」と話しました。